| 主权项 |
1.一种搅动式湿制程机台,包含: 一输送系统,该输送系统包含: 一输送带; 复数个具有叶片的滚轮,位于该输送带上或下侧, 用以带动该输送带上的复数个待加工物并搅动一 化学药剂;以及 复数个喷嘴,位于该输送带的上方或下方,用以喷 洒或补充该化学药剂于该些待加工物上。 2.如申请专利范围第1项所述之湿制程机台,其中每 一该些滚轮的该叶片数为六。 3.如申请专利范围第1项所述之湿制程机台,其中该 些叶片外型为直立式。 4.如申请专利范围第1项所述之湿制程机台,其中该 些叶片外型为弧形。 5.如申请专利范围第1项所述之湿制程机台,其中该 些叶片与该些待加工物之表面间具有一间隙。 6.如申请专利范围第1项所述之湿制程机台,其中该 些喷嘴位于该些滚轮之间。 7.如申请专利范围第6项所述之湿制程机台,其中该 些喷嘴更可位于该些滚轮之上。 8.一种搅动式湿制程机台,包含: 一输送系统,该输送系统至少包含: 一输送带; 复数个具有叶片的滚轮,位于该输送带上或下侧, 用以带动该输送带上的复数个待加工物并搅动一 化学药剂,该些叶片和该些待加工物之表面间具有 一间隙;以及 复数个喷嘴,位于该输送带的上方或下方,用以补 充该化学药剂于该些待加工物上。 9.如申请专利范围第8项所述之湿制程机台,其中该 些喷嘴位于该些滚轮之间。 10.如申请专利范围第9项所述之湿制程机台,其中 该些喷嘴位于该些滚轮之上。 11.一种搅动式湿制程系使用专利范围第1项的湿制 程机台,包含: 输送复数个待加工物于复数个喷嘴下; 喷洒一化学药剂以蚀刻该些待加工物;以及 搅动该化学药剂以提升蚀刻效率。 图式简单说明: 第1图为铜箔基板的结构图。 第2图为传统的湿制程机台的斜角俯视图。 第3图为化学药剂排出路径示意图。 第4图为依照本发明一较佳实施例的搅动式湿制程 机台的斜角俯视图。 第5图为滚轮作动的示意图。 第6图为依照本发明一较佳实施例的滚轮结构图。 第7图为依照本发明另一较佳实施例的滚轮结构图 。 |
