| 发明名称 | 一种晶舟操控装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开的一种晶舟操控装置，通过夹紧晶舟顶盖来搬运晶舟，其包括操控盒及分别设置在该操控盒两侧的两机械手，所述两机械手均呈“ㄑ”状，包括上部的主动杆、及与该主动杆固定连接的夹持杆，所述操控装置具有一预备状态和一夹紧状态；所述夹持杆的末端向该操控盒的方向伸出一支撑爪。支撑爪在夹紧状态时几乎呈水平方向设置，紧紧扣住晶舟顶盖，晶舟顶盖被卡在夹持杆与支撑爪的交接处，从而增加了晶舟操控装置的稳定性，即使有晃动，晶舟也不会轻易脱落。 | ||
| 申请公布号 | CN201017867Y | 申请公布日期 | 2008.02.06 |
| 申请号 | CN200720066562.1 | 申请日期 | 2007.01.23 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 吴永强;陆一峰;顾佳玉;陈造卫 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01);H01L21/677(2006.01);B65G47/90(2006.01) | 主分类号 | H01L21/687(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 1.一种晶舟操控装置，通过夹紧晶舟顶盖来搬运晶舟，其包括操控盒及分别设置在该操控盒两侧的两机械手，所述两机械手均呈“ㄑ”状，包括上部的主动杆、及与该主动杆固定连接的夹持杆，所述操控装置具有一预备状态和一夹紧状态；其特征在于：所述夹持杆的末端向该操控盒的方向还伸出一支撑爪。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江路18号 | ||