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发明名称 ROBOT CHUCK FOR WAFER TRANSFER
摘要
申请公布号 KR20070044513(A) 申请公布日期 2007.04.30
申请号 KR20050100481 申请日期 2005.10.25
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JUN, YONG MYUNG;RYU, CHANG GIL;PARK, SEUNG YUL;KO, HYUN JIN;SONG, WOO SUCK
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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