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发明名称 APPARATUS FOR WAFER DETECTING INCLUDING THE ISOLATION PAD
摘要
申请公布号 KR20070044665(A) 申请公布日期 2007.04.30
申请号 KR20050100827 申请日期 2005.10.25
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YANG, JAE HYUN;AHN, YO HAN;KIM, DAE WON;KIM, HYUN OK;CHOI, BO RAM;CHO, GUI YOUNG
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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