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发明名称 Method of in-situ cleaning plasma applicator and plasma applicator adapting the same cleaning method
摘要
申请公布号 KR100712529(B1) 申请公布日期 2007.04.30
申请号 KR20050081849 申请日期 2005.09.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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