发明名称 FORMING METHOD OF PATTERN FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20070044186(A) 申请公布日期 2007.04.27
申请号 KR20050100220 申请日期 2005.10.24
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 PARK, SA RO HAN
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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