PLASMA PROCESSING APPARATUS AND METHOD OF DESIGNING THE SAME,申请号KR20050016322-传众专利搜索

发明名称	PLASMA PROCESSING APPARATUS AND METHOD OF DESIGNING THE SAME
摘要
申请公布号	KR100712172(B1)	申请公布日期	2007.04.27
申请号	KR20050016322	申请日期	2005.02.28
申请人		发明人
分类号	H01L21/205;H05H1/46;C23C16/44;C23F1/00;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/00	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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