发明名称 FLAT SUBSTRATE HAVING AN ELECTRICALLY CONDUCTIVE STRUCTURE
摘要 <p>Beschrieben wird ein Flächensubstrat mit einer innerhalb des Flächensubstrats integrierten oder an einer Oberfläche des Flächensubstrats applizierten elektrisch leitenden Struktur und/oder einer technisch vergüteten Oberfläche. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass wenigstens ein Sensor in dem Flächensubstrat integriert oder an einer Oberfläche des Flächensubstrates appliziert ist, der in Abhängigkeit von innerhalb des Flächensubstrats auftretenden Verformungen Sensorsignale generiert, dass wenigstens ein Aktor in dem Flächensubstrat integriert oder an der Oberfläche des Flächensubstrats appliziert ist, der bei Aktivierung das Flächensubstrat mechanisch zu deformieren vermag, und dass eine mit dem wenigstens einen Sensor und dem wenigstens einen Aktor verbundene Signaleinheit vorgesehen ist, die auf der Grundlage der Sensorsignale Aktorsignale zur Aktivierung des Aktors generiert, so dass innerhalb des Flächensubstrats auftretende Verformungen reduziert werden.</p>
申请公布号 WO2007045408(A1) 申请公布日期 2007.04.26
申请号 WO2006EP09927 申请日期 2006.10.13
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;KAUFMANN, HEINZ;SINDELAR, RALF;MELZ, TOBIAS 发明人 KAUFMANN, HEINZ;SINDELAR, RALF;MELZ, TOBIAS
分类号 H01L41/08 主分类号 H01L41/08
代理机构 代理人
主权项
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