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发明名称 APPARATUS FOR EVALUATING POLYSILICON FILM
摘要
申请公布号 KR100859357(B1) 申请公布日期 2008.09.22
申请号 KR20020003303 申请日期 2002.01.21
申请人 发明人
分类号 G01N21/00;H01L29/786;G01N21/956;G02F1/13;G02F1/1368;H01L21/20;H01L21/66 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
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