| 发明名称 |
SILICEOUS FILM WITH SMALLER FLAT BAND SHIFT AND METHOD FOR PRODUCING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20070044051(A) |
申请公布日期 |
2007.04.26 |
| 申请号 |
KR20077005843 |
申请日期 |
2007.03.13 |
| 申请人 |
AZ ELECTRONIC MATERIALS (JAPAN) K.K. |
发明人 |
SHIMIZU YASUO;ICHIYAMA MASAAKI;NAGURA TERUNO |
| 分类号 |
B32B18/00;B32B9/00;C01B33/12;H01L21/316 |
主分类号 |
B32B18/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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