| 发明名称 |
Abrasive particulate material, and method of planarizing a workpiece using the abrasive particulate material |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2006304356(A1) |
申请公布日期 |
2007.04.26 |
| 申请号 |
AU20060304356 |
申请日期 |
2006.10.13 |
| 申请人 |
SAINT-GOBAIN CERAMICS & PLASTICS, INC. |
发明人 |
JUN WANG;ANDREW G. HAERLE |
| 分类号 |
C01F7/02;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/306 |
主分类号 |
C01F7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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