发明名称 |
矽-氧-氮-氧-矽(SONOS)电晶体之辐射线侦测器 |
摘要 |
本发明系提供一种辐射线侦测器,系包含有一感测元件以于接受辐射线照射时由该感测元件予以记录辐射剂量,主要即在于该辐射线侦测器系以矽-氧-氮-氧-矽(SONOS)电晶体为感测元件。 |
申请公布号 |
TW200935037 |
申请公布日期 |
2009.08.16 |
申请号 |
TW097104214 |
申请日期 |
2008.02.04 |
申请人 |
明新科技大学 |
发明人 |
谢文靓 |
分类号 |
G01J1/16(2006.01);H01L31/113(2006.01) |
主分类号 |
G01J1/16(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
刘建忠 |
主权项 |
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地址 |
新竹县新丰乡新兴路1号 |