| 发明名称 | 用于光刻的组合物和方法 | ||
| 摘要 | 施涂在光刻胶组合物上的用于浸没式光刻处理和非浸没式成像的外涂层组合物。 | ||
| 申请公布号 | CN1952778A | 申请公布日期 | 2007.04.25 |
| 申请号 | CN200610131770.5 | 申请日期 | 2006.10.08 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | D·王;C·－B·徐 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01);G03F7/16(2006.01);G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 沙永生 |
| 主权项 | 1.一种经过涂敷的基材，该基材包括：位于基材上的光刻胶组合物层；位于该光刻胶层上的有机组合物，该组合物包含：(i)包含一种或多种三元共聚物、四元共聚物或五元共聚物的树脂组分，和/或(ii)一种或多种生酸剂化合物。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||