压电谐振器及其制造方法

摘要

上电极103设置在压电层101的一个主表面上，而下电极设置在压电层101的另一主表面上。振动部分104是下电极102、压电层101、以及上电极103在垂直投影方向上重叠的区域。用于分别将下电极102与上电极103连接到输入/输出电极107的线电极108设置在压电层101的一个主表面与另一主表面上。振动部分104经由支承部分109置于(连接到)衬底105上。支承部分109设置在压电层101上除设置有振动部分104的区域、以及设置有输入/输出电极107与线电极108的区域之外的区域上。

主权项

1.一种在预定频率振动的压电谐振器，其特征在于，包括：压电层，由压电薄膜构成；上电极，设置在所述压电层的一个主表面上；下电极，设置在所述压电层的另一主表面上；衬底；以及支承部分，设置在所述压电层与所述衬底之间；其中所述支承部分设置在垂直投影方向上不重叠下电极或上电极的位置。