| 发明名称 | 加热基材支撑件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明是提供一种用于形成基材支撑件的方法及设备。于一实施例中，制造基材支撑件的制程包括在本体中形成沟槽；在沟槽中设置加热组件；以及焊接沟槽以封围该加热组件，其中焊接可使至少一部份的本体紧密接触加热组件。在另一实施例中，提供形成基材支撑件的方法，包括在本体中形成沟槽；在沟槽中设置加热组件以及摩擦搅拌焊接沟槽，使之闭合以封盖该加热组件。 | ||
| 申请公布号 | CN1952211A | 申请公布日期 | 2007.04.25 |
| 申请号 | CN200610136017.5 | 申请日期 | 2006.10.16 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | J·M·怀特 |
| 分类号 | C23C16/54(2006.01);H01L21/683(2006.01);C03C17/00(2006.01) | 主分类号 | C23C16/54(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陆嘉 |
| 主权项 | 1.一种由一方法制成的基材支撑组件，该方法至少包含下列步骤：在本体中形成沟槽；将加热组件设于该沟槽中；以及焊接该沟槽以封盖该加热组件，其中该焊接更包括迫使该本体的至少一部份紧密接触该加热组件。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||