发明名称
摘要
申请公布号 JP3910889(B2) 申请公布日期 2007.04.25
申请号 JP20020239732 申请日期 2002.08.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/82;H01L21/8247;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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