PROCESS FOR PREPARING ZIRCONIUM OXIDE THIN FILMS,申请号KR20050050745-传众专利搜索

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发明名称	PROCESS FOR PREPARING ZIRCONIUM OXIDE THIN FILMS
摘要
申请公布号	KR100711010(B1)	申请公布日期	2007.04.25
申请号	KR20050050745	申请日期	2005.06.14
申请人		发明人
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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