| 发明名称 |
Method of removing residues formed during the manufacture of MEMS systems |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1745864(A3) |
申请公布日期 |
2007.04.25 |
| 申请号 |
EP20060117395 |
申请日期 |
2006.07.18 |
| 申请人 |
DALSA SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
FORTIN, VINCENT;OUELLET, JEAN |
| 分类号 |
B08B3/08;B08B7/00;H01L21/306 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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