| 发明名称 |
表面声波器件 |
| 摘要 |
本发明涉及一种表面声波器件，其包括：一类金刚石碳膜，其具有纳米级厚度；一位于该类金刚石碳膜上的锌氧化物层，其具有纳米级厚度；及至少一位于该锌氧化物层上的指叉换能器。该类金刚石碳膜的厚度Z(f)满足条件式：Z(f)＝M×Z<SUB>0</SUB>/(f/f<SUB>0</SUB>)，Z(f)≥1nm；其中，Z<SUB>0</SUB>为表面声波器件的工作频率为f<SUB>0</SUB>时的类金刚石碳膜的厚度，f为表面声波器件的工作频率，其取值范围为20～1000GHz，M的取值范围为1～15。该锌氧化物层的厚度Y(f)满足条件式：Y(f)＝N×Y<SUB>0</SUB>/(f/f<SUB>0</SUB>)；其中，Y<SUB>0</SUB>为表面声波器件的工作频率为f<SUB>0</SUB>时的锌氧化物层的厚度，N的取值范围为1～1.5。本发明利用纳米级厚度的锌氧化物的压电效应及类金刚石碳膜的高表面声波传播速率的特性，可使该表面声波器件的工作频率高达1000GHz。 |
| 申请公布号 |
CN1953324A |
申请公布日期 |
2007.04.25 |
| 申请号 |
CN200510100556.9 |
申请日期 |
2005.10.19 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
陈杰良 |
| 分类号 |
H03H9/25(2006.01) |
主分类号 |
H03H9/25(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种表面声波器件，其包括至少一指叉换能器，其特征在于该表面声波器件还进一步包括：一类金刚石碳膜，其具有纳米级厚度，该类金刚石碳膜的厚度Z(f)满足条件式：Z(f)＝M×Z0/(f/f0)，Z(f)≥1纳米，其中，Z0为表面声波器件的工作频率为f0时的类金刚石碳膜的厚度，f为表面声波器件的工作频率，其取值范围为20～1000千兆赫兹，M的取值范围为1～15；及一位于该类金刚石碳膜上的锌氧化物层，其具有纳米级厚度，该锌氧化物层的厚度Y(f)满足条件式：Y(f)＝N×Y0/(f/f0)，其中，Y0为表面声波器件的工作频率为f0时的锌氧化物层的厚度，N的取值范围为1～1.5；所述指叉换能器位于该锌氧化物层上。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
