发明名称 预处理光学镀膜材料及其预处理方法
摘要 本发明公开了一种预处理光学镀膜材料及其预处理方法。该方法包括:(1)选用光学镀膜材料的原料粉体;(2)在温度为700~1400℃,压力为10~40Mpa条件下制备素坯;(3)在高温烧结炉中烧结,在烧结温度900~1800℃条件下恒温烧结2~4小时,制备坯体;(4)、将坯体严格按照镀膜机坩埚的尺寸加工成型;(5)在还原气氛炉中,在温度为1000~1700℃条件下,进行脱气处理2~6小时,即为预处理的光学镀膜材料。所得到TiO<SUB>2</SUB>预处理光学镀膜材料,其相对密度达到99%,氧含量为39.8%,失氧率为6%,按化学计量拟合其分子式为TiO<SUB>1.979</SUB>。预处理光学镀膜材料具有以下特点:1)高度致密化,相对密度达到90%以上,有些接近材料的理论密度;2)对于高折射率氧化物光学镀膜材料,通过本发明的工艺方法进行特定处理失去部分晶格氧。
申请公布号 CN1952204A 申请公布日期 2007.04.25
申请号 CN200510109269.4 申请日期 2005.10.20
申请人 北京有色金属研究总院 发明人 王星明;储茂有;段华英;黄松涛;张碧田;邓世斌;张明贤;龚述荣;潘德明
分类号 C23C14/08(2006.01);C23C14/02(2006.01) 主分类号 C23C14/08(2006.01)
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人 程凤儒
主权项 1、一种预处理光学镀膜材料,其特征在于:该预处理光学镀膜材料是下述材料中的任意一种,TiO2预处理光学镀膜材料,其相对密度达到99%,氧含量为39.8%,失氧率为6%,按化学计量拟合其分子式为TiO1.979;Ta2O5预处理光学镀膜材料,其相对密度达到96%,氧含量17.84%,失氧率1.5%,按化学计量拟合其分子式为Ta2O4.91;ZnO预处理光学镀膜材料,其相对密度达到98%;Ti2O3预处理光学镀膜材料,其相对密度达到99%,氧含量33.24%,失氧率4.51%,按化学计量拟合其分子式为Ti2O2.988;Ti3O5预处理光学镀膜材料,其相对密度达到99%,氧含量35.53%,失氧率6.8%,按化学计量拟合其分子式为Ti3O4.950。
地址 100088北京市新街口外大街2号