| 发明名称 | 溶液体积测量装置 | ||
| 摘要 | 一种溶液体积测量装置，包括一密闭圆筒容器、一管路、一压力感测单元及一控制单元。密闭圆筒容器用以储存一溶液，并具有一圆形底部。管路以与圆形底部垂直的方式，将管路的一端置入溶液中，并将一气体由管路的另一端灌入管路中。压力感测单元与管路连接，用以感测气体在溶液中的压力，并据以输出一压力感测信号。控制单元与压力感测单元电连接，用以接收压力感测信号，并据以决定溶液在密闭圆筒容器中的一液面高度值。 | ||
| 申请公布号 | CN1952622A | 申请公布日期 | 2007.04.25 |
| 申请号 | CN200510108656.6 | 申请日期 | 2005.10.18 |
| 申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 出永川;彭国豪;曾国邦 |
| 分类号 | G01F22/02(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01F22/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波;侯宇 |
| 主权项 | 1.一种溶液体积测量装置，包括：一密闭圆筒容器，用以储存一溶液，并具有一圆形底部；一管路，以与该圆形底部垂直的方式，将该管路的一端置入该溶液中，并将一气体由该管路的另一端灌入该管路中；一压力感测单元，与该管路连接，用以感测该气体在该溶液中的压力，并据以输出一压力感测信号；以及一控制单元，与该压力感测单元电连接，用以接收该压力感测信号，并据以决定该溶液在该密闭圆筒容器中的一液面高度值。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区 | ||