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发明名称 METHOD OF PRODUCING A MEMS DEVICE
摘要
申请公布号 EP1776313(A1) 申请公布日期 2007.04.25
申请号 EP20050755272 申请日期 2005.05.31
申请人 ANALOG DEVICES, INC. 发明人 MARTIN, JOHN, R.;MENA, MANOLO G.;LACSAMANA, ELMER, S.;DUFFY, MICHAEL, P.;WEBSTER, WILLIAM, A.;FELTON, LAWRENCE, E.;KARPMAN, MAURICE, S.
分类号 B81C1/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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