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发明名称 METHOD OF OPERATING ION SOURCE AND ION IMPLANTING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070043652(A) 申请公布日期 2007.04.25
申请号 KR20060102170 申请日期 2006.10.20
申请人 NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD. 发明人 INOUCHI YUTAKA;DOHI SYOJIRO;ANDO YASUNORI;MATSUDA YASUHIRO
分类号 H01J37/36;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/36
代理机构 代理人
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