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发明名称 APPARATUS OF THIN FILM EVAPORATION AND METHOD FOR THIN FILM EVAPORATION USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20070043541(A) 申请公布日期 2007.04.25
申请号 KR20050099909 申请日期 2005.10.21
申请人 SAMSUNG SDI CO., LTD. 发明人 HUH, MYUNG SOO;AHN, JAE HONG;HAN, SANG JIN
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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