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发明名称 SEMICONDUCTOR PLASMA ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070043363(A) 申请公布日期 2007.04.25
申请号 KR20050099565 申请日期 2005.10.21
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, RAE CHOON
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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