| 发明名称 | 光刻胶剥离组合物 | ||
| 摘要 | 本发明的光刻胶剥离组合物含有至少一种由如下通式1表示的氧甲基胺化合物：其中R<SUP>1</SUP>至R<SUP>3</SUP>如说明书中所定义。对于通式1的氧甲基胺化合物，由如下通式7表示的化合物是一种新的化合物：其中R<SUP>2</SUP>至R<SUP>5</SUP>以及n如说明书中所定义。 | ||
| 申请公布号 | CN1312535C | 申请公布日期 | 2007.04.25 |
| 申请号 | CN03120076.1 | 申请日期 | 2003.03.12 |
| 申请人 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 发明人 | 池本一人;山本良亮;吉田宽史;丸山岳人 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01);C07C217/08(2006.01);H01L21/308(2006.01) | 主分类号 | G03F7/42(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 龙传红 |
| 主权项 | 1.一种含有氧甲基胺化合物的光刻胶剥离组合物，其特征在于所述氧甲基胺化合物由如下通式1表示：<img file="C031200760002C1.GIF" wi="689" he="218" />其中R<sup>1</sup>为烷基、羟烷基、芳基、酰基、烷氧基烷基或氨烷基；R<sup>2</sup>为氢、烷基、酰基、羟烷基、芳基、烯丙基、氨烷基、烷氧基烷基、羟基或氨基；R<sup>3</sup>为氢、烷基、酰基、羟烷基、芳基、烯丙基、氨烷基、烷氧基烷基、羟基或氨基，假定当R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>均为具有1-8个碳原子的基团时，R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>及与R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>相连的N一起可以形成环状结构. | ||
| 地址 | 日本东京 | ||