| 发明名称 |
Epitaxial oxide films via nitride conversion |
| 摘要 |
The present invention relates to oxides on suitable substrates, as converted from nitride precursors.
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| 申请公布号 |
US7208196(B2) |
申请公布日期 |
2007.04.24 |
| 申请号 |
US20030704840 |
申请日期 |
2003.11.10 |
| 申请人 |
APPLIED THIN FILMS, INC. |
发明人 |
SAMBASIVAN SANKAR;BARNETT SCOTT A.;KIM ILWON;RECHNER JOHN |
| 分类号 |
C23C16/00;C30B29/22;C23C8/02;C23C14/06;C23C14/08;C30B23/02;C30B33/00;H01L21/318;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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