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发明名称 METHOD FOR DETECTING AND REMOVING A SMALL PARTICLE IN A PROCESS OF FORMING ISOLATED LAYER
摘要
申请公布号 KR100713343(B1) 申请公布日期 2007.04.24
申请号 KR20050132404 申请日期 2005.12.28
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, DONG HOON
分类号 H01L21/76;H01L21/66 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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