| 发明名称 |
METHOD FOR MINIMIZING A REFLECT POWER IN A RF POWER MATCHING UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100713308(B1) |
申请公布日期 |
2007.04.24 |
| 申请号 |
KR20050132413 |
申请日期 |
2005.12.28 |
| 申请人 |
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
HWANG, MIN SOO |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/205;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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