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发明名称
SYSTEM FOR MANUFACTURING OXIDE FILM AND METHOD FOR THE SAME
摘要
申请公布号
KR100712733(B1)
申请公布日期
2007.04.23
申请号
KR20050127352
申请日期
2005.12.21
申请人
SILTRON INC.
发明人
KIM, IN JUNG;LEE, GUN HO;BAE, SO IK
分类号
H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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