发明名称 HEATED SUBSTRATE SUPPORT AND METHOD OF FABRICATING SAME
摘要
申请公布号 KR20070042469(A) 申请公布日期 2007.04.23
申请号 KR20060100706 申请日期 2006.10.17
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 WHITE JOHN M.
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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