| 发明名称 |
FLANGE CONCLUSION STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DIFFUSION EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20070042393(A) |
申请公布日期 |
2007.04.23 |
| 申请号 |
KR20050098277 |
申请日期 |
2005.10.18 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
HAM, KYU HWAN |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/02;H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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