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发明名称 SEMICONDUCTORC DEVICE HAVING SIMULTANEOUSLY FORMED ISOLATION TRENCH AND RECESS CHANNEL ARRAY TRENCH AND FABRICATION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20070042322(A) 申请公布日期 2007.04.23
申请号 KR20050098119 申请日期 2005.10.18
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HONG, SANG WOO
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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