发明名称 JIG FOR ALIGNING HALE AND THE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT USED THE SAME
摘要
申请公布号 KR20070042270(A) 申请公布日期 2007.04.23
申请号 KR20050097982 申请日期 2005.10.18
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JAE HYUK;KIM, DAE HYUN;PARK, KWANG HO;BAEK, HONG JOO
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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