| 主权项 |
1.一种具有生产设备所需资料保护之制程装置,其 包括: 制程单元; 储存单元,其系用以储存该制程单元之生产设备所 需资料; 控制单元,其接收一第一资料要求,其中该第一资 料要求系包含撷取该生产设备所需资料之要求以 及一识别资料;以及 认证单元,其确认该识别资料,当该识别资料被确 认,使得该控制单元从该储存单元撷取对应的生产 设备所需资料。 2.如申请专利范围第1项所述之具有生产设备所需 资料保护之制程装置,其中该制程单元用以处理下 列中之一者:晶圆、积体电路(IC)晶片、及液晶显 示板。 3.如申请专利范围第1项所述之具有生产设备所需 资料保护之制程装置,其中该生产设备所需资料包 含下列中至少一者:制程配方(recipe)资料、装置参 数设定资料、制程程式、以及制程记录资料。 4.如申请专利范围第1项所述之具有生产设备所需 资料保护之制程装置,其中该储存单元以加密型态 储存该生产设备所需资料。 5.如申请专利范围第4项所述之具有生产设备所需 资料保护之制程装置,其中该控制单元进一步将该 加密之生产设备所需资料传送至一外部系统。 6.如申请专利范围第5项所述之具有生产设备所需 资料保护之制程装置,其中该外部系统包含一外部 储存装置或一制造环境中的现场生产管制系统( shop floor control system)。 7.如申请专利范围第1项所述之具有生产设备所需 资料保护之制程装置,进一步包含一加密单元,其 系用以将该生产设备所需资料加密处理。 8.如申请专利范围第7项所述之具有生产设备所需 资料保护之制程装置,其中该控制单元进一步将该 加密之生产设备所需资料传送至一外部系统。 9.如申请专利范围第7项所述之具有生产设备所需 资料保护之制程装置,其中该外部系统包含一外部 储存装置或一制造环境中的现场生产管制系统( shop floor control system)。 10.如申请专利范围第5项所述之具有生产设备所需 资料保护之制程装置,其中该认证单元进一步接收 并确认一第二资料要求,其中该第二资料要求系包 含该生产设备所需资料之一解密金钥资料之要求 。 11.如申请专利范围第10项所述之具有生产设备所 需资料保护之制程装置,其中该认证单元进一步记 录该第一资料要求及该第二资料要求。 12.如申请专利范围第10项所述之具有生产设备所 需资料保护之制程装置,其中该认证单元进一步当 该第一资料要求或第二资料要求无法得到确认时, 产生一警报讯号。 13.如申请专利范围第1项所述之具有生产设备所需 资料保护之制程装置,进一步包含一解密单元,其 系用以将该加密之生产设备所需资料解密。 14.一种制造系统,其包括: 制程装置,其包含: 制程单元; 储存单元,其系用以储存该制程单元之生产设备所 需资料;以及 控制单元,其接收一第一资料要求,其中该第一资 料要求系要求该生产设备所需资料,其并包含一识 别资料;以及 保全单元,其确认该识别资料,当该识别资料被确 认,使得该控制单元从该储存单元撷取对应的生产 设备所需资料。 15.如申请专利范围第14项所述之制造系统,进一步 包含一加密单元,其系用以将该生产设备所需资料 加密处理。 16.如申请专利范围第14项所述之制造系统,进一步 包含一内容管理系统,其系用以撷取该生产设备所 需资料。 17.如申请专利范围第16项所述之制造系统,其中该 内容管理系统进一步利用该生产设备所需资料以 产生一技术文件。 18.如申请专利范围第16项所述之制造系统,其中该 内容管理系统进一步利用该生产设备所需资料以 产生一操作指示。 19.如申请专利范围第15项所述之制造系统,其中该 控制单元进一步将该生产设备所需资料传送至一 外部系统。 20.如申请专利范围第14项所述之制造系统,其中该 该储存单元以加密型态储存该生产设备所需资料 。 21.如申请专利范围第14项所述之制造系统,其中该 认证单元进一步接收并确认一第二资料要求,其中 该第二资料要求系要求该生产设备所需资料之一 解密金钥资料,该认证单元并确认该第二资料要求 ,并当该第二资料要求被确认时,提供该解密金钥 资料。 22.如申请专利范围第21项所述之制造系统,其中该 认证单元进一步记录该第一资料要求及该第二资 料要求。 23.如申请专利范围第21项所述之制造系统,其中该 认证单元进一步该第一资料要求或第二资料要求 无法得到确认时,产生一警报讯号。 24.如申请专利范围第14项所述之制造系统,进一步 包含一制造执行系统(manufacture executing system, MES) 。 25.如申请专利范围第14项所述之制造系统,进一步 包含一制程配方管理系统。 26.一种具有生产设备所需资料保护之制程装置,其 包括: 制程单元; 储存单元,其系用以储存该制程单元之生产设备所 需资料; 控制单元,其接收一第一资料要求,其中该第一资 料要求系要求该生产设备所需资料,其并包含一识 别资料;以及 加密单元,其系用以将该生产设备所需资料加密处 理。 27.如申请专利范围第26项所述之具有生产设备所 需资料保护之制程装置,其中该生产设备所需资料 包含下列中至少一者:制程配方(recipe)资料、装置 参数、制程程式、以及制程记录资料。 28.如申请专利范围第26项所述之具有生产设备所 需资料保护之制程装置,其中该制程单元用以处理 下列中之一者:晶圆、积体电路(IC)晶片、及液晶 显示板。 29.如申请专利范围第26项所述之具有生产设备所 需资料保护之制程装置,其中该储存单元以加密型 态储存该生产设备所需资料。 30.如申请专利范围第29项所述之具有生产设备所 需资料保护之制程装置,其中该控制单元进一步将 该加密之生产设备所需资料传送至一外部系统。 31.如申请专利范围第26项所述之具有生产设备所 需资料保护之制程装置,其中该控制单元进一步接 收并确认一第二资料要求,其中该第二资料要求系 包含该生产设备所需资料之一解密金钥资料之要 求。 32.如申请专利范围第26项所述之具有生产设备所 需资料保护之制程装置,进一步包含一解密单元, 其系使用对应与该加密之生产设备所需资料对应 之解密金钥资料,将该加密之生产设备所需资料解 密。 33.一种制造系统,其包括: 制程装置,其包含: 制程单元; 储存单元,其系用以储存该制程单元之生产设备所 需资料;以及 控制单元,其接收一第一资料要求,其中该第一资 料要求系要求该生产设备所需资料;以及 加密单元,其系用以将该生产设备所需资料加密处 理。 34.如申请专利范围第33项所述之制造系统,其中该 控制单元进一步将该生产设备所需资料以加密的 型态传送至一外部系统。 35.如申请专利范围第33项所述之制造系统,其中该 控制单元进一步接收并确认一第二资料要求,其中 该第二资料要求系包含传送该生产设备所需资料 之一解密金钥资料的要求以及一识别资料。 36.如申请专利范围第33项所述之制造系统,进一步 包含一认证单元,其系用以确认该识别资料。 37.如申请专利范围第33项所述之制造系统,进一步 包含一解密单元,其系使用对应与该加密之生产设 备所需资料对应之解密金钥资料,将该加密之生产 设备所需资料解密。 38.一种电子装置,其系依据具有生产设备所需资料 保护之一第一制程装置之制程资料处理而成,其中 该第一处理装置包含: 制程单元; 储存单元,其系用以储存该制程单元之生产设备所 需资料; 控制单元,其接收一第一资料要求,其中该第一资 料要求系包含传送该生产设备所需资料之要求及 一识别资料;以及 认证单元,其确认该识别资料,当该识别资料被确 认,使得该控制单元从该储存单元撷取对应的生产 设备所需资料。 39.如申请专利范围第38项所述之电子装置,其系为 下列中之一者:晶圆、积体电路(IC)晶片、及液晶 显示板。 40.如申请专利范围第38项所述之电子装置,其中该 储存单元以加密型态储存该生产设备所需资料。 41.如申请专利范围第38项所述之电子装置,其中该 控制单元进一步包含一加密器,其系用以将该生产 设备所需资料加密处理。 42.如申请专利范围第38项所述之电子装置,其中该 认证单元进一步接收并确认一第二资料要求,其中 该第二资料要求系包含该生产设备所需资料之一 解密金钥资料之要求。 43.如申请专利范围第42项所述之电子装置,其中该 认证单元进一步记录该第一资料要求及该第二资 料要求。 44.如申请专利范围第38项所述之电子装置,其中该 第一处理装置进一步包含一解密单元,其系用以将 该加密之生产设备所需资料解密。 45.如申请专利范围第38项所述之电子装置,其系经 由该第一处理装置制造处理而成。 46.如申请专利范围第38项所述之电子装置,其系经 由一第二处理装置依据该生产设备所需资料制造 处理而成,其中该第二处理装置从该第一处理装置 取得该生产设备所需资料。 47.一种电子装置,其系依据一第一制程装置之制程 资料处理而成,其中该第一处理装置包含: 制程单元; 储存单元,其系用以储存该制程单元之生产设备所 需资料; 控制单元,其接收一第一资料要求,其中该第一资 料要求系包含传送该生产设备所需资料之要求;以 及 加密单元,其系用以将该生产设备所需资料加密处 理。 48.如申请专利范围第47项所述之电子装置,其系为 下列中之一者:晶圆、积体电路(IC)晶片、及液晶 显示板。 49.如申请专利范围第47项所述之电子装置,其中该 储存单元以加密型态储存该生产设备所需资料。 50.如申请专利范围第47项所述之电子装置,其中该 认证单元进一步记录该第一资料要求。 51.如申请专利范围第47项所述之电子装置,其中该 第一处理装置进一步包含一解密单元,其系利用该 加密之生产设备所需资料所对应的解密金钥资料, 将该加密之生产设备所需资料解密。 52.如申请专利范围第47项所述之电子装置,其系经 由该第一处理装置制造处理而成。 53.如申请专利范围第47项所述之电子装置,其系经 由一第二处理装置依据该生产设备所需资料制造 处理而成,其中该第二处理装置从该第一处理装置 取得该生产设备所需资料。 54.如申请专利范围第53项所述之电子装置,其系由 该第二处理装置依据加密之生产设备所需资料处 理制造而成。 55.如申请专利范围第53项所述之电子装置,其中该 第二处理装置包含一解密单元,用以将该加密之生 产设备所需资料解密。 56.一种用以管理生产设备所需资料散播的方法,其 包括: 提供一处理装置,其具有一储存单元以储存该处理 装置之生产设备所需资料; 接收一第一资料要求,其中该第一资料要求系包含 撷取该生产设备所需资料的要求及一识别资料; 确认该识别资料; 当该识别资料被确认时,将该生产设备所需资料加 密;以及 将该加密之生产设备所需资料传送至一外部系统 。 57.如申请专利范围第56项所述之用以管理生产设 备所需资料散播的方法,其中该生产设备所需资料 包含制程配方(recipe)资料。 58.如申请专利范围第56项所述之用以管理生产设 备所需资料散播的方法,其中该生产设备所需资料 包含装置参数设定资料。 59.如申请专利范围第56项所述之用以管理生产设 备所需资料散播的方法,进一步接收并确认一第二 资料要求,其中该第二资料要求系包含该生产设备 所需资料之一解密金钥资料之要求,当该第二资料 要求获确认时,提供该解密金钥资料。 60.如申请专利范围第59项所述之用以管理生产设 备所需资料散播的方法,进一步记录该第一资料要 求及该第二资料要求。 61.如申请专利范围第59项所述之用以管理生产设 备所需资料散播的方法,进一步当该第一资料要求 或第二资料要求无法得到确认时,产生一警报讯号 。 62.如申请专利范围第56项所述之用以管理生产设 备所需资料散播的方法,将该加密之生产设备所需 资料传送至一外部储存装置。 63.如申请专利范围第56项所述之用以管理生产设 备所需资料散播的方法,将该加密之生产设备所需 资料传送至一制造环境中的现场生产管制系统( shop floor control system)。 64.如申请专利范围第56项所述之用以管理生产设 备所需资料散播的方法,进一步将该加密之生产设 备所需资料传送至一内容管理系统。 65.如申请专利范围第56项所述之用以管理生产设 备所需资料散播的方法,进一步利用该生产设备所 需资料以产生一技术文件。 66.如申请专利范围第56项所述之用以管理生产设 备所需资料散播的方法,进一步利用该生产设备所 需资料以产生一操作指示。 图式简单说明: 第1图显示传统的半导体制造系统的示意图。 第2图显示依据本发明实施例之制造系统的示意图 。 第3A及3B图显示本发明管理生产设备所需资料散播 方法的流程图。 |
