发明名称 配线基板及其制造方法
摘要 具备:薄膜基材1、排列于薄膜基材上之复数条导体配线2、及形成于各该导体配线之突起电极3。突起电极,系穿越导体配线之长边方向而到达该导体配线两侧之薄膜基材上的区域,突起电极之导体配线宽度方向的截面形状系部较两侧为高。形成于导体配线上的突起电极,对从横方向施加之力能保持充分的强度。
申请公布号 TWI279865 申请公布日期 2007.04.21
申请号 TW094109388 申请日期 2004.04.23
申请人 松下电器产业股份有限公司 发明人 今村博之;幸谷信之
分类号 H01L21/48(2006.01) 主分类号 H01L21/48(2006.01)
代理机构 代理人 林镒珠 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 1.一种配线基板,系具备:绝缘性基材、排列于该绝 缘性基材上之复数条导体配线、及形成于各该导 体配线之突起电极,其特征在于: 该突起电极,系穿越该导体配线之长边方向而到达 该导体配线两侧之该绝缘性基材上的区域,该导体 配线之宽度方向的截面形状系中央部较两侧为高 。 2.一种配线基板,系具备:绝缘性基材、排列于该绝 缘性基材上之复数条导体配线、及形成于各该导 体配线之突起电极,其特征在于: 该突起电极,系穿越该导体配线之长边方向而到达 该导体配线两侧之该绝缘性基材上的区域,该突起 电极的上面系呈平坦状。 3.如申请专利范围第1或2项之配线基板,其中该突 起电极,系在该导体配线之两侧部与该绝缘性基材 面接触。 4.如申请专利范围第1或2项之配线基板,其中该突 起电极之导体配线之长边方向的纵截面形状,系呈 实质上长方形。 5.如申请专利范围第1或2项之配线基板,其中该导 体配线及突起电极,系以与形成该等之金属不同的 金属实施镀敷。 6.如申请专利范围第1或2项之配线基板,其中,该突 起电极之穿越该导体配线的方向,系与该导体配线 的长边方向正交。 7.如申请专利范围第1或2项之配线基板,其中该导 体配线,系在前端部具有较其他区域宽度为窄的区 域,且在该宽度较窄区域形成该突起电极。 8.一种配线基板之制造方法,其特征在于具备以下 步骤: 将复数条导体配线排列于绝缘性基材上之步骤; 在该绝缘性基材之导体配线设置面形成光阻之步 骤; 在该光阻形成穿越该导体配线而往该导体配线两 侧的区域扩展之开口部,在该开口部中使该导体配 线的一部份露出;及 对该露出之导体配线的一部份施以金属镀而形成 突起电极之步骤。 9.如申请专利范围第8项之配线基板之制造方法,其 中该开口部,系形成横跨该复数条导体配线之孔。 10.如申请专利范围第9项之配线基板之制造方法, 其中,在该光阻形成开口部之步骤中,使用具有光 透过区域横跨该复数条导体配线的部分之曝光光 罩、或具有光遮断区域横跨该复数条导体配线的 部分之曝光光罩,以进行该光阻之曝光。 11.如申请专利范围第10项之配线基板之制造方法, 其中,该曝光光罩之光透过区域或光遮断区域之长 边方向系与该导体配线之长边方向正交。 12.如申请专利范围第8至11项中任一项之配线基板 之制造方法,其系藉由电镀来施以该镀敷。 13.如申请专利范围第8至11项中任一项之配线基板 之制造方法,其系使沿该绝缘性基材之半导体搭载 部之短边方向排列之该导体配线,形成较沿长边方 向排列之该导体配线的宽度为宽;且将形成于该光 阻之开口部,在该绝缘性基材之长边所对应的部分 设成连续形状,而在其短边所对应的部分则配置个 别的开口部。 14.如申请专利范围第8至11项中任一项之配线基板 之制造方法,其系在该绝缘性基材之导体配线的前 端部设置较其他区域宽度为窄的区域,且在该宽度 较窄的区域形成该突起电极。 图式简单说明: 图1系表示实施形态1之载带基板的一部份之立体 图。 图2A系表示该载带基板的一部份之俯视图;图2B系 该载带基板以截面表示之前视图;图2C系图2B中A-A 截面图。 图3A1~F1系表示实施形态2之载带基板之制造方法的 步骤中载带基板的一部份之俯视图;图3A2~F2系分别 对应于图3A1~F1之放大截面图。 图4系表示半导体元件之一例的俯视图。 图5系表示用于载带基板之制造之形成有导体配线 之薄膜基材之俯视图。 图6系表示藉由实施形态2之制造方法所制造之载 带基板之一例之半导体搭载部之俯视图。 图7系表示藉由实施形态2之制造方法所制造之载 带基板之另一例之半导体搭载部之俯视图。 图8系表示实施形态2之曝光光罩之一例的俯视图 。 图9系表示实施形态2之变形例之设有导体配线之 载带基板之俯视图。 图10A系表示实施形态2之另一例之使用曝光光罩之 曝光步骤之俯视图;图10B系表示其放大截面图。 图11系表示实施形态3之载带基板之俯视图。 图12系表示实施形态4之半导体装置之截面图。 图13A、B系表示实施形态4之半导体装置之制造方 法之另一例之截面图。 图14系表示习知例之COF的一部份之截面图。 图15A1~F1系表示习知例之载带基板之制造步骤中薄 膜基板的一部份之俯视图;图15A2~F2系分别对应于 图15A1~F1之放大截面图。 图16A、B系表示藉由图15之制造步骤所制成之载带 基板的一部份之截面图。 图17系表示在图16之载带基板上组装半导体元件的 样子之截面图。 图18系表示用以说明图15之制造步骤的课题之载带 基板的一部份之截面图。
地址 日本