| 主权项 |
1.一种搬送用轴,系用以搬送藉由处理剂处理之基 板者, 且该搬送用轴包含有: 轴部,系藉由以碳纤维形成之芯材及对前述处理剂 具耐受性的材料形成,且具有被覆于前述芯材外周 面之被覆构件者;及 支撑滚子,系以预定间隔设于该轴部之轴方向,用 以支撑前述基板者。 2.如申请专利范围第1项之搬送用轴,其中前述被覆 构件系由合成树脂构成之被覆材。 3.如申请专利范围第1项之搬送用轴,其中前述被覆 构件系金属管。 4.如申请专利范围第1项之搬送用轴,其中前述轴部 之两端设有支轴,且该支轴内形成有通气孔,而前 述通气孔连通前述芯材外周面与前述被覆构件内 周面之间的空间部。 5.如申请专利范围第1项之搬送用轴,其中前述芯材 呈中空状,且前述通气孔之一端连通前述空间部, 而另一端连通前述被覆构件之内部空间。 6.如申请专利范围第1项之搬送用轴,其中前述通气 孔之一端连通前述空间部,而另一端于由前述枢轴 之轴部突出于外部的部分处开口。 7.一种滚筒刷轴,系用以清洗基板者, 且该滚筒刷轴包含有: 轴部,系藉由以碳纤维形成之芯材及对前述处理剂 具耐受性的材料形成,且具有被覆前述芯材外周面 之被覆构件者;及 滚筒刷,系设于该轴部之被覆构件的外周部者。 8.如申请专利范围第7项之滚筒刷轴,其中前述被覆 构件系由合成树脂构成之被覆材。 9.如申请专利范围第7项之滚筒刷轴,其中前述被覆 构件系金属管。 10.如申请专利范围第7项之滚筒刷轴,其中前述轴 部之两端设有支轴,且该支轴内有通气孔连通前述 芯材外周面与前述被覆构件内周面之间的空间部 。 11.如申请专利范围第7项之滚筒刷轴,其中前述芯 材呈中空状,且前述通气孔之一端连通前述空间部 ,而另一端连通前述被覆构件之内部空间。 12.如申请专利范围第7项之滚筒刷轴,其中前述气 孔之一端连通前述空间部,而另一端于由前述支轴 之轴部突出于外部的部分处开口。 13.一种搬送用轴,系用以搬送基板者, 且该搬送用轴包含有: 轴部,系以碳纤维形成者;及 支撑滚子,系设于该轴部,用以支撑前述基板者。 14.一种基板之处理装置,系用以搬送基板并同时藉 由处理剂来处理基板者,且该基板之处理装置具有 用以搬送基板之搬送用轴,并且该搬送用轴具有如 申请专利范围第1项之结构。 15.一种基板之处理装置,系用以搬送基板并同时藉 由处理剂来清洗基板者,且该基板之处理装置具有 用以清洗前述基板之滚筒刷轴,并且该滚筒刷轴具 有如申请专利范围第7项之结构。 图式简单说明: 第1图系显示设有本发明第1实施形态之搬送用轴 及滚筒刷轴之处理装置的概略构造图。 第2图系搬送用轴之部份截面正视图。 第3图系滚筒刷轴之部份截面正视图。 第4图系利用金属管来代替合成树脂被覆于芯材之 搬送用轴及滚筒刷轴之轴部的部份截面正视图。 第5图系于将芯材安装于由不锈钢制成之金属管上 时,测量该金属管厚度与轴部弯曲量之间之关系的 曲线图。 第6图系显示本发明第2实施形态之搬送用轴及滚 筒刷轴的部分放大截面图。 第7图系显示本发明第3实施形态之搬送用轴及滚 筒刷轴的部分放大截面图。 |
