发明名称 可调变光源图像的共焦式显微成像系统
摘要 一种可调变光源图像的共焦式显微成像系统,包含一可程式化控制输出之光的图样的光源模组、一使通过的光成预定波长之偏极光的滤波偏振转换装置、一使通过的偏极光之电场方向与相位改变并朝预定方向行进的偏振分光装置、一放置并带动待测物位移的压电平台、一将通过偏振分光装置的偏极光以面的形式全域聚焦至待测物的一待测面的第一透镜组,及一将自待测面反射并通过偏振分光装置后行进之偏极光建立为放大影像的数位式成像装置,本系统主要藉由光源模组产生的系列图样的光与压电平台的纵向移动,而可正确、快速地建立待测物的放大立体影像。
申请公布号 TWI279580 申请公布日期 2007.04.21
申请号 TW094145854 申请日期 2005.12.22
申请人 财团法人金属工业研究发展中心 发明人 林长庆;叶光明;吕英诚;方怡钦;吴家华
分类号 G02B21/00(2006.01);G01B11/24(2006.01) 主分类号 G02B21/00(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 1.一种可调变光源图像的共焦式显微成像系统,包 含: 一光源模组,具有一光源、一供该光源发出的光通 过之数位式微镜片,及一可程式化控制该微镜片而 使该光源发出的光通过后呈预定图样并朝一第一 方向行进的控制单元; 一滤波偏振转换装置,使通过的光成一继续朝第一 方向行进之具有预定波长范围的偏极光,用以供自 该光源模组发出之呈预定图样的光通过后成一继 续朝第一方向行进的第一偏振光束; 一偏振分光装置,使通过之偏极光的电场振动方向 与相位改变,并使电场振动方向不同的偏极光分别 朝不同的方向行进,用以供该第一偏振光束通过后 成一继续朝该第一方向行进的第二偏振光束; 一压电平台,用以承置并带动一待测物位移; 一第一透镜组,设置于该偏振分光装置与该压电平 台之间,并具有至少一凸透镜,而可将该第二偏振 光束以面的形式全域聚焦至该待测物之一待测面 上,且当该第二偏振光束全域聚焦至该待测面时, 该第二偏振光束以该待测面反射成之一第三偏振 光束反向于该第一方向行进并通过该偏振分光装 置,而成一朝一第二方向行进的第四偏振光束;及 一数位式成像装置,用以接收该第四偏振光束,并 以数位方式将接收到的该第四偏振光束建立为该 待测物之待测面的放大影像。 2.依据申请专利范围第1项所述可调变光源图像的 共焦式显微成像系统,其中,该滤波偏振转换装置 具有供朝该第一方向行进的光依序通过的一滤光 镜与一偏光转换器,该滤光镜可滤除杂光而仅供预 定波长范围的光通过,该偏光转换器将通过该滤光 镜之预定波长范围的光转换成偏极光。 3.依据申请专利范围第2项所述可调变光源图像的 共焦式显微成像系统,其中,该偏振分光装置具有 供朝该第一方向行进的偏极光依序通过的一偏振 光分光隔离器与一四分之一波片,该偏振光分光隔 离器限制电场振动方向彼此正交的二偏极光分别 朝第一方向与第二方向行进,该四分之一波片将朝 该第一方向行进的线偏极光转换成继续朝该第一 方向行进的圆偏极光,并将朝反向于该第一方向行 进的圆偏极光转换成继续朝反向于该第一方向行 进的线偏极光。 4.依据申请专利范围第3项所述可调变光源图像的 共焦式显微成像系统,其中,该滤光镜是供波长范 围在550.02nm的光通过。 5.依据申请专利范围第3或4项所述可调变光源图像 的共焦式显微成像系统,其中,该第一偏振光束是 波长范围在550nm的P型线偏极光,该第二偏振光束是 圆偏极光,该第三偏振光束是与该第二偏振光反相 的圆偏极光,且该第四偏振光束是S型线偏极光。 6.依据申请专利范围第1项所述可调变光源图像的 共焦式显微成像系统,其中,该压电平台是以奈米 级的步进而可被控制地带动该待测物作三度空间 位移。 7.依据申请专利范围第1项所述可调变光源图像的 共焦式显微成像系统,其中,该数位式成像装置包 括一可接收光并成像的光电耦合摄影机,及一可运 算处理该光电耦合摄影机所成之像的运算单元。 8.依据申请专利范围第1项所述可调变光源图像的 共焦式显微成像系统,更包含一第二透镜组,设置 在该偏振分光装置与该数位式成像装置之间,并具 有至少一凸透镜,而可将该第四偏振光束以面的形 式全域聚焦以供该数位式成像装置接收成像。 图式简单说明: 图1是一示意图,说明共焦显微镜的成像系统的基 础原理; 图2是一示意图,说明习知采针孔转盘式多光点光 路设计的共焦显微镜的成像系统; 图3是一示意图,说明本发明一种可调变光源图像 的共焦式显微成像系统的一第一较佳实施例; 图4是一示意图,说明图3之成像系统的一光源模组 发出光的图样; 图5是一示意图,说明图3之成像系统的一光源模组 发出光的另一种图样;及 图6是一示意图,说明本发明一种可调变光源图像 的共焦式显微成像系统的一第二较佳实施例。
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