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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR RAPID FREEZING VACUUM DRYING A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR20070041327(A) 申请公布日期 2007.04.18
申请号 KR20060089705 申请日期 2006.09.15
申请人 HWANG, SUN SOOK 发明人 HWANG, SUN SOOK
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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