濃縮セレンイオン注入のための供給源および方法

摘要

同位体濃縮されたセレン含有原料にイオン注入する新規な方法が提供される。原料が選択され、セレンの特定の質量同位体が濃縮され、これにより濃縮度は天然存在比のレベルを超える。本発明の方法は、ガス消費量の削減および廃棄物の削減を可能にする。原料は好ましくは、セレンイオン注入プロセスの間の安全性および信頼性を強化するために、減圧貯蔵および配送装置から貯蔵および配送される。