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发明名称 SYSTEM FOR HANDLING OF WAFERS WITHIN A PROCESS TOOL
摘要
申请公布号 EP1774574(A1) 申请公布日期 2007.04.18
申请号 EP20050773790 申请日期 2005.07.19
申请人 ASM AMERICA, INC. 发明人 GRABOWSKI, AL, W.
分类号 H01L21/00;H01L21/677 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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