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发明名称
SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER AND EPITAXIAL WAFER, AND METHOD FOR PRODUCING SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号
EP1502972(A4)
申请公布日期
2007.04.18
申请号
EP20030728034
申请日期
2003.05.07
申请人
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD
发明人
SAKURADA, MASAHIRO;MITAMURA, NOBUAKI;FUSEGAWA, IZUMI;OHTA, TOMOHIKO
分类号
C30B29/06;C30B15/00;H01L21/322
主分类号
C30B29/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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