发明名称 气针式传感器
摘要 一种气针式传感器,它包括针体、压力传感器,其特征是针体的一端为进气喷嘴,另一端为测量喷嘴,针体壁上连接压力传感器,针体内腔为气室。本发明的优点是:(1)结构微小化设计,使安装使用方便;(2)测量分辨率高,可用于亚微米尺寸测量。
申请公布号 CN1948898A 申请公布日期 2007.04.18
申请号 CN200610124906.X 申请日期 2006.10.30
申请人 南昌大学 发明人 梁发云;赵前程;邓善熙
分类号 G01B13/02(2006.01) 主分类号 G01B13/02(2006.01)
代理机构 南昌洪达专利事务所 代理人 刘凌峰
主权项 1、一种气针式传感器,它包括针体、压力传感器,其特征是针体的一端为进气喷嘴,另一端为测量喷嘴,针体壁上连接压力传感器,针体内腔为气室。
地址 330031江西省南昌市红谷滩新区学府大道999号