发明名称 |
包含苯乙烯-烯丙醇共聚物的抗反射涂层和双镶嵌填充组合物 |
摘要 |
提供了具有改进流动性的新颖抗反射组合物或填充组合物。所述组合物包含苯乙烯-烯丙醇聚合物以及至少一种除苯乙烯-烯丙醇聚合物之外的其它聚合物(如纤维素聚合物)。本发明组合物可用来保护接触孔或通孔,避免在双镶嵌工艺的蚀刻过程中的性能下降。本发明组合物也可以用来涂覆基片(如硅晶片),形成具有高蚀刻速率的抗反射涂层,降低或防止随后的光致抗蚀剂曝光和显影期间的光反射。 |
申请公布号 |
CN1310971C |
申请公布日期 |
2007.04.18 |
申请号 |
CN03811646.4 |
申请日期 |
2003.05.13 |
申请人 |
布鲁尔科技公司 |
发明人 |
G·徐;J·D·梅多;M·R·比哈弗;S·V·德西潘德;K·A·诺瓦克 |
分类号 |
C08F12/02(2006.01);C08F16/36(2006.01);C08F20/10(2006.01);C08F212/00(2006.01) |
主分类号 |
C08F12/02(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
周承泽 |
主权项 |
1.用来保护基底材料或在基底材料中形成的孔的抗反射或填充组合物,改进之处在于所述组合物包含苯乙烯-烯丙醇聚合物和选自纤维素聚合物、线型酚醛清漆以及它们混合物的聚合物或聚合物的混合物;所述聚合物分散于一溶剂体系中,所述溶剂体系的用量为80-97重量%,以组合物的总重量按100重量%计。 |
地址 |
美国密苏里州 |