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发明名称 METHOD FOR BILAYER RESIST PLASMA ETCH
摘要
申请公布号 EP1774542(A2) 申请公布日期 2007.04.18
申请号 EP20050785237 申请日期 2005.06.27
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 NGUYEN, WENDY;LEE, CHRIS
分类号 H01B13/00;G03C5/00;H01L21/3213 主分类号 H01B13/00
代理机构 代理人
主权项
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