静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置

摘要

本发明公开了一种静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有两个电极(1，2)，其中电极(2)接交流电，通过多晶硅结构层连接到固定梳齿(12、13)。另一个电极(1)接地，通过结构层的两个相互垂直的悬臂梁与梁另一端的悬置梳齿连接。接交流电的两组固定梳齿与接地的两组悬置梳齿交错设置从而构成两组梳齿静电驱动器。两个相互垂直的悬臂梁交叉部分为疲劳试样。本发明中使得试样(悬臂梁的公共部分)(7)处于典型的双轴拉伸应力状态下，克服了传统MEMS实验装置仅能够模拟试样的单轴拉伸和弯曲应力状态的不足；这样对于MEMS疲劳特性的研究非常有利。

主权项

1、静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置，其特征在于：主要包括有接地电极(1)、驱动电极(2)、第一固定梳齿(4)、第二固定梳齿(10)、第一悬置梳齿(5)、第二悬置梳齿(9)；其中，驱动电极(2)通过两个互相垂直的第一固定梁(13)、第二固定梁(12)连接到第一固定梳齿(4)和第二固定梳齿(10)；接地电极(1)通过两个互相垂直的第一悬臂梁(6)、第二悬臂梁(8)连接到第一悬置梳齿(5)、第二悬置梳齿(9)，第一固定梳齿(4)和第一悬置梳齿(5)、第二固定梳齿(10)和第二悬置梳齿(9)构成两组梳齿静电驱动器，在第一悬臂梁(6)、第二悬臂梁(8)的公共部分为疲劳实验试样(7)，接地电极(1)接地，驱动电极(2)接交流电。