发明名称 Method of Forming Tungsten Gate
摘要
申请公布号 KR100709461(B1) 申请公布日期 2007.04.18
申请号 KR20010038022 申请日期 2001.06.29
申请人 发明人
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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