| 发明名称 | 薄层基板移载用吸附垫 | ||
| 摘要 | 一种薄层基板移载用吸附垫，是用于吸附玻璃基板的吸附垫(71)，由具有圆环状的侧壁部(711)的有底桶状体构成，在底部(712)的形成有吸引孔(713)，侧壁部(711)的前端形成为前方收窄的锥状。侧壁部(711)由吸引孔侧的小直径的基部侧壁(714)、前端侧的大直径的前端侧壁(715)、以及连接基部侧壁和前端侧壁的连结部(716)而构成。前端侧壁(715)的前端端面(715a)的径向尺寸为0.2mm。由此可以抑制托垫的冷热(相对而言温度较低)传递到玻璃基板的热量。 | ||
| 申请公布号 | CN1311545C | 申请公布日期 | 2007.04.18 |
| 申请号 | CN03137807.2 | 申请日期 | 2003.05.21 |
| 申请人 | 爱斯佩克株式会社;中华映管股份有限公司 | 发明人 | 田中秀树;安宾桢;萧厚彦 |
| 分类号 | H01L21/84(2006.01);H01L21/70(2006.01);G02F1/136(2006.01) | 主分类号 | H01L21/84(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 1.一种薄层基板移载用吸附垫，用于吸附薄层基板，其特征在于：由具有环形侧壁部的有底桶状体构成，该桶状体在底部的局部形成有吸引孔，所述侧壁部的前端形成为前方收窄的锥状，在侧壁部内径侧的成为等直径且圆周方向等间隔的位置上形成多个用于支撑及限制变形的凸起。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||