带旋光层系统的平基片的连续涂层的方法和装置

摘要

本发明涉及带旋光层系统的平基片的连续涂层的装置和相应的方法，所述系统包括多个分层，所述装置分成各个涂层室，并设有靶，所述涂层室设有彼此分开抽空的真空泵。本发明的目的是降低泵室之间气体分离的复杂性，并由此降低具有长形布局的真空涂层装置的操作者的生产成本和复杂性。如下实现所述目的：淀积层系统的至少两个分层，一个位于另一个之上，用于相应连续布置的涂层室的磁控管上的靶由产生层的材料的制成，并且两个涂层室(8；13)彼此通过流阻相连，而省略了中间的气封。

主权项

1.一种连续涂层具有包括多个分层的旋光层系统的平基片的装置，其中排列传送装置，用于在一个传送方向传送所述基片，并且所述装置分成在传送方向中顺序设置的各个室，使得排列带有磁控管的涂层室用于淀积各分层，所述涂层室设有靶，所述涂层室设置有真空泵，用于彼此分开的抽空，其特征在于：为了彼此在另一个的顶上淀积至少两个分层(3；4)，与传送方向相应的顺序涂层室(8)的磁控管(9；14)上的靶(10；15)由要产生的层的材料制造，并且涂层室(8；13)直接装设真空泵(12；17)且涂层室(8；13)直接彼此连接，或者设置泵室(11；16；20)，其装设有真空泵(12；17)，从而各泵室(11；16；20)中任何一个设置在传送方向的涂层室(8；13)前，涂层室(8；13)之间和涂层室(8；13)后，以及两个涂层室(8；13)经由流阻彼此连接，而避免它们之间的气封。