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发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 EP1390978(B1) 申请公布日期 2007.04.18
申请号 EP20020726094 申请日期 2002.05.21
申请人 QIMONDA AG 发明人 NUETZEL, JOACHIM;SCHLOESSER, TILL;SCHWARZL, SIEGFRIED;WURM, STEFAN
分类号 H01L21/8246;H01L27/10;H01L;H01L27/105;H01L27/22;H01L43/08 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
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